Beschichtungslösungen, die die PVD-Technologie nutzen, ermöglichen die Entwicklung ultradünner Sensoren. Diese Sensoren weisen eine geringere Empfindlichkeit gegenüber Drift auf, insbesondere bei Temperatur- und Druckmessungen.
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Sensoren
| Schichtoptionen | Schichtmaterial | Beschichtungstechnologie | Schichthärte HIT[GPa] | Reibungskoeffizient (trocken) vs. Stahl | Max. Anw.- Temp. [°C] | Prozesstemperatur [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ta-C | Filtered Arc | 35 - 50 | 0.1 - 0.2 | 450 | < 100 |
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