BALINIT DYLYN-Beschichtungen werden für die Reduzierung von Verunreinigung und der einstellbaren Leitfähigkeit verwendet. Höhere Leitfähigkeit als mit DYLYN kann mit BALINIT A (TiN) erzielt werden.
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Halbleiter Wafer-Transfermechanismen
| Schichtoptionen | Schichtmaterial | Beschichtungstechnologie | Schichthärte HIT[GPa] | Reibungskoeffizient (trocken) vs. Stahl | Max. Anw.- Temp. [°C] | Prozesstemperatur [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 | ||
| TiN | Arc | 30 +/- 3 | ~0.6 | 600 | < 500 |
|
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