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Procédé basé sur le dépôt chimique en phase vapeur
Le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) est un nom générique pour un groupe de procédés qui peuvent être définis comme le dépôt d'un solide sur une surface chauffée à partir d'une réaction chimique pendant la phase vapeur. Températures typiques : 700 – 1000°C.
Principe d'un système de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) de taille de production, dans lequel les gaz réactifs (provenant de précurseurs gazeux, liquides ou solides) sont introduits dans une chambre de réaction à une température et à une pression déterminées de manière appropriée.
Dans le réacteur, les gaz entrent en contact avec un substrat chauffé, réagissent et forment une couche solide.
Après la réaction, le gaz d'échappement contient principalement du HCl qui réagira avec l'hydroxyde de sodium (NaOH) pendant le processus de revêtement dans la pompe à vide à anneau liquide et dans un laveur de gaz supplémentaire dans le système de neutralisation.
Les sous-chlorures métalliques, condensés par un piège de refroidissement pendant le processus de revêtement, sont neutralisés après le processus de revêtement dans un système de service.
Les émissions totales sont conformes à l'ATEX et aux directives techniques de contrôle de l'air pur (TA Luft).
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