巴尔查斯,列支敦士登,2024年9月9日——欧瑞康旗下品牌,领先的表面技术供应商巴尔查斯很高兴地宣布推出其最新的物理气相沉积(PVD)系统INVENTA。这种新型涂层设备采用了先进的电弧技术(AAT),代表了PVD电弧技术的重大发展。INVENTA体现了欧瑞康在技术上的领先地位以及对效率和可持续性发展的承诺。客户可以利用这项新技术提高生产率,同时节约资源和材料。
新型INVENTA系统的涂层效率更高,单件成本更低,并兼容现有的BALINIT®涂层,从而增强了PVD电弧技术。这为客户降低了使用成本,并可以从基于新型先进电弧技术的未来涂层创新中受益。
AAT – 先进电弧技术
INVENTA的核心是包含了几个关键功能的先进电弧技术 (AAT)。该技术可以适用更多种类的靶材,实现更高的沉积效率并提高涂层均匀性。
新开发的电弧源可快速调节磁场,从而方便快捷地改变各种涂层结构。灵活的磁场极大地优化了靶材利用率。在同一块靶材上可使用多种材料(两种材料),从而实现复杂的涂层微观结构,如纳米涂层。AAT 弧源的放电电压控制功能还能提高各种涂层结构和蒸发率的可重复性,确保高端产品的涂层厚度精确无误。
另一项创新是 INVENTA 全新设计的免维护、低磨损引弧系统,通过高频操作实现多层和纳米涂层结构。经过优化的引弧针位置可防止液滴到达基材,从而获得更光滑的涂层。
改进的腔室设计可提高工艺效率和涂层质量
INVENTA还采用了新的腔室设计,采用可变法兰的概念和优化的几何形状,以提高工艺效率;并通过三个独立的热电偶直接控制基材的温度,从而有助于提供更高质量的涂层。
提高装载量、资源效率和可持续性
INVENTA kila的装载能力比前一代产品高25%,涂层高度为500毫米(19.7英寸)。新的冷却系统减少了20-30%的冷却时间,提高了生产率,减少了批次时间。
与之前的系统相比,该系统的沉积速率提高了50%,靶材利用率提高到60%,是一种资源高效的解决方案。这些改进有助于降低总成本约10-20%,具体取决于涂层类型。
INVENTA减少了约20%的能源消耗,并最大限度地减少了靶材浪费。它的水冷系统利用余热进行回收。为了提高操作人员的安全性,用户可以使用移动监视器,并通过桌面连接进行完全远程访问。
全球连接和控制
INVENTA易于使用,具有直观的HMI(人机界面),包括标准涂层工艺向导程序。它实现了数字全球连接,允许用户将标准化数据(OPC UA) 、设备利用率、资源和能源消耗、涂层质量等导出到他们自己的ERP/MIS系统。
为将来新的涂层开发做好准备
“通过INVENTA,客户可以接触到PVD电弧技术和未来AAT技术的最新发展,从而提高现有涂层的生产效率,降低生产成本。他们还将受益于我们的应用专业知识和全球售后服务网络。INVENTA在效率和可持续性方面迈出了很大的一步,”OSS设备全球主管Alexander Mohnfeld表示。
欲了解更多有关新型INVENTA PVD涂层系统的信息,请访问: www.oerlikon.com/balzers/inventa