PACVD

PACVD 涂层是什么？

欧瑞康巴尔查斯通过高频 PACVD 工艺生产无金属的碳涂层。

该工艺的设置类似于用于溅射的工艺，通常结合 CVD 工艺使用。在 PACVD 中，含有涂层的气体被引入到真空室，由交流电压供应的放电点燃。

这可产生自由碳和氢原子（离子和游离基），并在工具和零部件上形成致密的涂层。使用不同的供应电压可影响涂层的属性。