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Die DOMINO kila ist ausgelegt für die Produktion kostengünstiger Schichten auf Basis der APA Arc und der ADVANCED AEGD Technologie. Sie bietet standardisierte Technologiepakete zu einem attraktiven Preis und kann trotzdem mit einigen weiteren Technologien wie Sputtern und Nitrieren nachgerüstet werden.
| Eigenschaften | METAPLAS.DOMINO kila |
|---|---|
| Verwendbares Beschichtungsvolumen | Ø 620 mm x 700 mm |
| Erhältliche Beschichtungsmodule | Arc, Nitriding |
| Als Upgrade erhältlich | Sputter, HiPIMS, HI3 |
| ARC-Verdampfer | 4 bis 16 |
| Magnetron-Sputterquellen | 1 bis 4 |
| Verfügbare Leistungsversorgungen | DC, DC Puls, HiPIMS |
| Verfügbare BIAS | bipolar gepulst |
| Plasma-Ätzen | Mit ADVANCED AEGD ausgestattet |
| Standard Substrattisch (weitere auf Anfrage) |
9 Spindeln |
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