PVD技術を用いたコーティングソリューションは、超薄型センサーの開発を可能にします。これらのセンサーは、特に温度と圧力の測定において、ドリフトに対する感度の低下を示します。
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センサー
| ソリューション | コーティング材 | コーティング技術 | コーティング硬さHIT [GPa] | 低摩擦係数 (ドライ) 対 スチール | 最高使用温度 [°C] | 処理温度 [°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ta-C | Filtered Arc | 35 - 50 | 0.1 - 0.2 | 450 | < 100 |
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