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革新的なPVDアークテクノロジーは、比類のない性能と結果を提供します
この革新的なテクノロジーは、トリガーとハイエンドアークソースデザイン、そして瞬時に調整可能な電磁界の間の完璧に調整された相互作用により、比類のない汎用性を提供します。
効率的で信頼性が高く、生産性の高いシステムを開発し、均一なコーティングを可能にするために、これらの重要なコンポーネントが大幅に強化されました。AATは、これまで以上に高品質なコーティングを実現します。
ハイエンドアークソース設計
将来のコーティング構造に対応
コーティング構造を素早く簡単に変更でき、新しいコーティング構造をサポート
生産性の向上とコスト削減
積載量の増加、成膜速度の向上、ターゲット利用率の向上、バッチ時間の短縮
多用途マルチマテリアルターゲットコンセプト
傾斜膜からマルチ/ナノレイヤーコーティングまで、多様なコーティング構造に対応
エネルギーおよび資源効率
低エネルギー消費と効率的な冷却/加熱システム
前世代装置との互換性
カルーセル、治具、積載台、カルーセル交換台を含むアクセサリーの互換性あり
先進的なチャンバーデザイン
優れたコーティング品質を生み出すための3つのソース、最大8つのターゲット材料、および簡略化されたターゲット交換機構
アーク蒸着では、高電流の小さなスポットが対象物の表面を移動します。素材は即座に溶解し、金属蒸気が作業対象物上で凝結します。このプロセスは爆発性であるため、液体金属の飛沫が発生し、コーティング表面が滑らかではなくなる場合があります。合成物を形成するために反応性ガスを導入することができます。
AATはお客様のPVDコーティングプロセスを変革し、比類ない効率性、品質、持続可能性を実現します。
当社のINVENTAシステムで、優れた性能を確保しながら、生産性の向上とコスト削減の効果を実感してください。
PVDアークテクノロジーの未来を発見し、コーティングオペレーションを新たなステージへ。