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アーク蒸着

優れた硬度と優れた密着性を備えた高密度コーティング

アーク蒸着は、工具・金型や部品に、薄く、非常に硬く、密着性の高いコーティングを蒸着させるプロセスです。

アーク蒸着は、工具・金型や部品に、薄く、非常に硬く、密着性の高いコーティングを蒸着させるプロセスです。

アーク蒸着工程では、直径が数ミクロンからわずか10分の数ミクロンまでのアークが固形金属コーティング材の上に流れ、コーティング材を蒸発させます。蒸発したコーティング材は、使用した大電流や高電力密度によって大部分がイオン化され、高エネルギーのプラズマが形成されます。

この金属イオンは、チャンバー内の反応性ガスと結合して、高エネルギーでターゲット工具や部品に超突し、薄くて密着性の高いコーティングとして蒸着されます。

エリコンバルザースは、革新的なアドバンスド・アークテクノロジー(AAT)により、アーク蒸着をさらに洗練させました。この進歩により、コーティングプロセス全体が改善され、パフォーマンスと効率が向上します。AATのメリットについて、詳しくはこちらをご覧ください。

アーク蒸着法

アーク蒸着法

アーク蒸着プロセス(アークコーティングとも呼ばれる)の概略図

  1. アルゴン
  2. 反応性ガス
  3. アークソース (コーティング材とバッキングプレート)
  4. 部品/工具・金型
  5. 真空ポンプ

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