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반도체 웨이퍼 척 및 페터스탈

마모와 오염이 적고 전기적 특성을 조정할 수 있는 BALINIT DYLYN 코팅을 적용할 수 있습니다. 또한, Y₂O₃은 에칭 내성이 우수하고 TiN 및 CrN은 마모와 전기 전도성을 고려합니다.

솔루션	코팅 재료	코팅 기술	코팅 경도 HIT [GPa]	마찰 계수 (건식) 대 강철	최대 서비스 온도 [°C]	공정 온도
BALINIT DYLYN	a-C:H:Si	PACVD	~ 15-25	0.05 - 0.2	350	< 220	다운로드 HQ205EN_General_Engineering.pdf HQ153EN_BALINIT-DLC_SERIES.pdf
BALINIT A	TiN	Arc	30 +/- 3	~0.6	600	< 500

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올리콘발저스코팅코리아(유); 경기도 평택시 청북읍 한산길 49, 17792

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