METAPLAS.DOMINO kila flex

METAPLAS.DOMINO kila flex는 특별한 요구 조건에 대응 가능할 만큼기술의 유연성이 우수하고 고객 지향적이며 장비 유지 보수를 최소화 할 수 있는 장비로써 요구되는 모든 사항들을 충족시켜 줍니다. 2개의 로딩 및 언로딩용 도어가 있어 자유롭게 접근할 수 있는 8각형 PVD 챔버는 자동화를 위한 이상적인 플랫폼으로, 유지 보수의 필요성을 최소화 하고 손쉽게 조작할 수 있습니다. 또한, Arc 및 스퍼터링 기술 뿐 만 아니라 PACVD 전도 물질 시스템 역시 사용 및 시스템 통합이 가능합니다.

최대 6개의 플랜지를 갖춘 APA Arc, HiPIMS 스퍼터링 및 HI3 기술
새로운 에칭 기술인 ADVANCED AEGD
2개의 챔버 도어로 양쪽에서 접근할 수 있는 이중 벽, 수냉식 스테인리스 강 챔버
자동화 공정을 위한 로딩 도어 자동 개폐
다양한 PACVD 공정을 위한 재료의 사용 및 질화 공정의 결합
고객 요구 사항에 따라 다양한 기술 및 분석 시스템(플라즈마) 장착

특성	METAPLAS.DOMINO kila flex
유효 코팅 볼륨	Ø 620 mm x 700 mm
사용 가능 코팅 모듈	Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding
APA 아크 증발기	4 to 16
마그네트론 스퍼터 소스	1 to 6
사용 가능한 전원 공급 장치	DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)
사용가능한 BIAS	Bipolar pulse, middle frequency
플라스마 세척	All systems equipped with patented power etching process AEGD
표준 모재 테이블 (요청 시 다른 테이블 제공 가능)	9 축

특성

METAPLAS.DOMINO kila flex

유효 코팅 볼륨

Ø 620 mm x 700 mm

사용 가능 코팅 모듈

Arc, Sputter, HiPIMS, HI3, Nitriding

APA 아크 증발기

4 to 16

마그네트론 스퍼터 소스

1 to 6

사용 가능한 전원 공급 장치

DC, DC pulse, middle frequency (MF), HiPIMS, (RF upon request)

사용가능한 BIAS

Bipolar pulse, middle frequency

플라스마 세척

All systems equipped with patented power etching process AEGD

표준 모재 테이블
(요청 시 다른 테이블 제공 가능)

9 축

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METAPLAS.DOMINO kila flex 최고의 기술 표준과 최대의 유연성을 갖춘 PVD 코팅 장비

Equipment with free chamber and two doors