강화 스퍼터링은 챔버 중심의 저전압 아크 방전을 사용하여 기본 스퍼터링 절차보다 몇 배 높은 플라스마 밀도를 생성하며, 그에 따라 가스 단계에서 훨씬 높은 수준의 입자 이온화를 달성할 수 있습니다.
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강화 스퍼터링은 챔버 중심의 저전압 아크 방전을 사용하여 기본 스퍼터링 절차보다 몇 배 높은 플라스마 밀도를 생성하며, 그에 따라 가스 단계에서 훨씬 높은 수준의 입자 이온화를 달성할 수 있습니다.
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