Wybierz kraj/język

Główki pryszniców dla półprzewodników

Główki pryszniców dla półprzewodników

Y₂O₃ pozwalają ograniczyć niepożądane generowanie cząstek AIF i skażenie. BALINIT DYLYN może nawet dopasować emisyjność w określonych zastosowaniach.

Powłoka Materiał powłoki Technologia procesu powlekania Twardość powłoki HIT [GPa] Współczynnik tarcia (na sucho) do stali Maks. temperatura pracy [°C] Temperatura procesu
a-C:H:Si PACVD ~ 15-25 0.05 - 0.2 350 < 220
pobieranie

© Copyright 2024 OC Oerlikon Management AG

Back to top keyboard_arrow_up

keyboard_arrow_up