Vad är PACVD-beläggning?
Oerlikon Balzers tillverkar metallfria kolbeläggningar med hjälp av den högfrekventa PACVD-processen.
Denna process är uppbyggd på ungefär samma sätt som sputtring, som ofta används i kombination med CVD. Vid PACVD förs en gas som innehåller beläggningens beståndsdelar in i vakuumkammaren och en urladdning som drivs av en växelspänning antänds.
Detta skapar fria kol- och väteatomer (joner och radikaler) som bildar en tät beläggning på verktyg och komponenter. Beläggningens egenskaper kan påverkas genom att man justerar den applicerade spänningen.
