半導体およびフラットパネルディスプレイ製造

性能向上と運用コストの削減

同時に、技術面では、静電チャック、チャンバー部品、プロセスキット(シールドとリング)においては、平坦度の更なる向上、基材の大型化、パーティクル低減のための耐食性改善、そして、ウエハ等の着脱性能向上に至るまで、あらゆる範囲の課題を克服する必要があります。 

エリコンメテコの高純度粉末は、高性能プラズマ溶射システムとの組み合わせにより、優れた品質のコーティングを安定して提供します。

• 静電チャック用の高い電気絶縁性などの優れた電気的特性 
• 静電チャック性能のための滑らかで高密度のコーティング 
• チャンバー部品の優れた耐腐食性、パーティクル低減、プラズマ耐性により、パフォーマンスと歩留まりが向上 
• プラズマエッチングの改良と耐食性の向上を促進するち密で滑らかなコーティングにより、お客様でのダウンタイムを削減 

当社の独自で包括的な製品 (粉末、プラズマ溶射ガンと、優れたプロセスの専門知識や開発サポートとの組み合わせ) は業界で並ぶものがなく、お客様はコストを削減し、部品寿命を延ばし、生産性と歩留まりを向上させ、その結果、総コストを低く抑えることができます。