BALINIT DYLYN 涂层用于减少污染和可调电导率。BALINIT A (TiN) 用于比 DYLYN 更高的电导率。
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半导体晶片转移机制
| 解决方案 | 涂层材料 | 涂层技术 | 涂层硬度HIT [GPa] | 摩擦系数（干）与钢的比较 | 最高工作温度[°C] | 工艺温度[°C] | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| a-C:H:Si | PACVD | ~ 15-25 | 0.05 - 0.2 | 350 | < 220 | ||
| TiN | Arc | 30 +/- 3 | ~0.6 | 600 | < 500 |
|
