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Oerlikon Balzers in den Medien

Verfahren, Anlagen, Prozesse und Anwendungen des Plasmabeschichten - kompakt erklärt von den treibenden Köpfen der Beschichtungsindustrie.

Plasmagestützte Beschichtungsverfahren

Plasmabeschichtungen spielen auf vielen Werkstoffen und Oberflächen eine zenrale Rolle

Beschichtete Oberflächen, ob sichtbar oder nicht, sind ein fester Bestandteil unseres Alltags. Ohne Beschichtungen würden Werkstoffe und Oberflächen schnell an ihre Grenzen stoßen: Unter anderem reduzieren sie Reibung und Verschleiß, schützen vor thermischer Überlastung und Korrosion, und bieten zudem die Möglichkeiten zur Unterscheidung und Optimierung der ästhetischen Wirkung. Zahlreiche industrielle Fertigungsprozesse sind ohne Beschichtungen nicht denkbar.

Das PVD + CVD Buch „Plasmagestützte Beschichtungsverfahren“ befasst sich mit der umweltschonenden, gesamten Technik der PVD- und CVD-Oberflächenbeschichtung, und behandelt daher neben Beschichtungsverfahren auch Anlagentechniken, Anwendungen und Ausblicke.

Ziel der Plasmabeschichtungsverfahren ist die Abscheidung dünner Schichten mit Dicken von einigen 10 nm bis zu einigen 10 μm. Diese Schichten bestehen aus Metallen, Legierungen, Nitriden, Oxiden, Karbiden oder Kohlenstoff. Die Schichtabscheidung erfolgt im Vakuum bei Drücken von 10-4 Pa bis 10 Pa und Temperaturen von ca. 50 °C bis 600 °C.

Die für Plasmabeschichtungen verwendeten Niederdruckplasmen sind nichtthermische, teilionisierte Plasmen. Diese bestehen aus geladenen Teilchen wie Ionen und Elektronen sowie neutralen Molekülen und Atomen, die sich teilweise im angeregten Zustand befinden. Die Ionisation oder Anregung der Teilchen erfolgt durch Stöße mit hochenergetischen Elektronen. Plasmen können durch elektrische und magnetische Felder beeinflusst werden.

Wir empfehlen das Buch interessierten Einsteigern und Fortgeschrittenen,
die sich einen kompakten und umfassenden Überblick der Oberflächenbeschichtungen verschaffen wollen.

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