Die DOMINO kila flex erfüllt alle Anforderungen an eine flexible, kundenorientierte, wartungsarme Produktionsanlage, die für Sonderwünsche alle Türen offen lässt. Deshalb ist die frei zugängliche oktogonale PVD-Kammer mit zwei Türen zum Be- und Entladen eine ideale Plattform zur Automatisierung und einfachen Bedienung mit minimalem Wartungsaufwand. Gleichzeitig können neben Arc- und Sputter-Technologien auch PACVD-Precursorsysteme zum Einsatz kommen und in die Anlage integriert werden.
- APA Arc, HiPIMS-Sputtern oder HI3-Technologie an bis zu 6 Flanschen
- Neue Ätztechnologie ADVANCED AEGD
- Doppelwandige, wassergekühlte Edelstahlkammer beidseitig zugänglich mit 2 Kammertüren
- Automatisches Öffnen und Schließen der Beladetür für Automatisierungsprozeß
- Precursoren für verschiedene PACVD-Prozesse auch in Kombination mit Nitrierprozess
- Nachrüstung unterschiedlichster Technologien und Analysesystemen (Plasma) je nach Kundenanforderungen