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METAPLAS.DOMINO kila flex 具有较高技术标准和灵活性的 PVD 设备

METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex
METAPLAS.DOMINO kila flex

METAPLAS.DOMINO kila flex满足所有要求,包括灵活、以客户为导向、低维护成本,同时为满足特殊要求打开所有技术大门。因此,八角形 PVD 腔体带有 2 个用于装载和卸载被涂层产品的门,是实现自动化、易于操作和减少维护的理想平台。同时,除了电弧和溅射技术外,还可以配备 PACVD 需要的前驱气体模块并将其集成到系统中。

  • 可以配备多达6个的APA Arc、HiPIMS 溅射或 HI3 模块法兰
  • 新蚀刻技术—— ADVANCED AEGD
  • 双层水冷不锈钢腔体可从两侧进入,带有 2 个腔门
  • 自动化过程的装载门自动打开和关闭
  • 适用于各种 PACVD 工艺的前趋气体模块,也可与氮化工艺相结合
  • 根据客户要求改装各种技术模块和等离子体检测系统
  • pdf (629.24 KB)

    DLC/carbon coatings: M.TISIN performance

    DLC/carbon coatings: M.TISIN performance
  • pdf (747.5 KB)

    High-performace coatings: M.TAC performance

    High-performace coatings: M.TAC performance
  • pdf (644.26 KB)

    Outstanding initial results with HI3 technology

    Outstanding initial results with HI3 technology

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