METAPLAS.DOMINO micra 用于定制 化PVD 的紧凑型多功能解决方案

METAPLAS.DOMINO micra可以在一个平台上满足几乎所有挑战的要求。它允许根据客户需求使用多种技术，是一个趋近于完美的平台，特别是HIPIMS系统。

• APA Arc, HiPIMS 溅射或HI3技术
• 配备有 4 个磁控阴极和同步双极脉冲 BIAS 的 HiPIMS 溅射
• 还可与 PACVD 和氮化工艺相结合
• 根据客户要求改装配备各种技术模块