SUCOTEC kila、megaおよび gigaシリーズは、エリコンバルザースの新世代の高品質 CVD システムです。世界中で使われているこのシステムは、完全な生産条件下で、優れた性能、柔軟性、信頼性を備え、ナノレイヤー、マルチレイヤー、新開発のコーティングに対応していることを証明しています。
- 生産性が向上
- コスト効果が高く、将来の需要に柔軟に対応
- メンテナンスコストは低く、稼働時間は長く
- バッチごとに一貫して高品質なコーティング
- 信頼できる安全性
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SUCOTEC 高品質 CVD コーティング装置
標準装置
すべてのSUCOTEC CVDシステムにおけるコーティングプロセスは、圧力40 mbar～800 mbar abs、温度700 °C～1040°Cの範囲で処理されます。指定されたすべてのコンポーネントは工業的に証明されており、高い期待に応えています。
すべての加熱された管とバルブは、効率を最大化し、皮膚刺激を避けるためにプレハブ材料で絶縁されています。
基本構成で成膜可能な代表的なコーティング: TiN, TiC, TiCN, MT-TiCN
| プリカーサ | |||||
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オプション
すべてのSUCOTECシステムは拡張性があり、ガスやプリカーサの追加が可能であるため、将来の開発やトレンドに十分に対応することができます。一般に、SUCOTECシステムは、以下のオプションに拡張可能です:
| 特殊コーティング* | 条件 | |||||||||||||
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* 特許: Oerlikon Balzers AG は、いかなる国のいかなる特許の下でも、いかなる人物または当事者による特許権侵害の主張に対しても、その主張が立証可能であるか否かにかかわらず、顧客に対していかなる責任も負わないものとします。
** 面心立方結晶構造
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