真空等离子喷涂系统 (VPS)

VPS 系统基于我们久经考验且高度可靠的 ChamPro™ 涂层工艺，设计用于具有以下独特功能的批量生产涂层（例如动叶和静叶、医疗植入物）：

• 典型腔室压力从 30 mbar 至 900 mbar 的喷涂过程
• 用于工件清洁（去除氧化层）的反转转移弧
• 高能等离子炬输出高达 120 kW 的高焓等离子流
• 最大喷涂部件重量（包括固定装置）最大为 100 kg，具体取决于夹持配置
• 通过六轴机器人进行运动控制，改装后可在低压环境中使用

这些系统属性赋予了真空等离子涂层工艺的先进特性：

• 很灵活的操作条件
• 薄、厚涂层均可应用
• 缓慢的涂层凝固可控制残余应力
• 等离子射流的集束形状可带来高沉积效率

涂层工艺所描述的基本概念和工作流程如下。

1. 将零件装载到夹持设备上
2. 关上腔门，抽至初始真空
3. 用氩气充回腔室的工作压力
4. 零件涂层
5. 冷却周期，之后将腔室充回大气压
6. 卸载零件