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DOMINO micra カスタマイズされたPVDソリューションのためのコンパクトで汎用性の高いソリューション

DOMINO micraは1つのプラットフォームでほぼ全ての要求を満たします。
顧客の要望に応じた多様な技術を可能にし、特にHiPIMSシステムとして最適なプラットフォームです。

特性	DOMINO micra
コーティング使用可能容積	Ø 450 mm x 500 mm
利用可能なコーティングモジュール	アーク,スパッタ, HiPIMS, (HI3, 窒化)
APAアークソース取り付け可能数	3 - 12
スパッタ式ソース取り付け可能数	1 - 4
使用可能な電源	DC, DCパルス, HiPIMS,双極パルス, MF(要望に応じて増減可能)
使用可能な BIAS	双極性パルス, middle frequency
プラズマ洗浄	全てのシステムは特許取得済みのパワーエッチングプロセスAEGDを装備
基材テーブルの標準軸数 (要望に応じて増減可能)	6 軸

お問い合せ先

エリコンジャパン株式会社　バルザース事業本部; 〒254-0014, 神奈川県平塚市四之宮7-2-2

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DOMINO micra カスタマイズされたPVDソリューションのためのコンパクトで 汎用性の高いソリューション