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METAPLAS.DOMINO micra カスタマイズされたPVDソリューションのためのコンパクトで 汎用性の高いソリューション

METAPLAS.DOMINO micra

METAPLAS.DOMINO micraは1つのプラットフォームでほぼ全ての要求を満たします。
顧客の要望に応じた多様な技術を可能にし、特にHiPIMSシステムとして最適なプラットフォームです。

  • APA アーク、HiPIMSスパッタリングまたは HI3テクノロジー
  • 4台のマグネトロンと同期した双極性パルスBIASによるHiPIMSスパッタリング
  • PACVDや窒化処理との組み合わせも可能
  • 顧客の要望に応じた各種技術のレトロフィット
  • APA アーク

    コーティング種類 推奨アプリケーション 標準コーティング組成 コーティング構造 硬さ(HV0.05) 最高使用温度 (°C)
    M.TIN 機械加工、フォーミング、部品、装飾向け標準アプリケーション TiN モノレイヤー 2500 ± 200 600 ゴールド
    M.TICN カッティング、ねじ切り加工、スタンピング、装飾 TiCN マルチレイヤ― 3500 ± 300 500 レッドブラウン
    M.CRN フォーミング、樹脂加工、ホットフォーミング、部品 CrN モノ-/マルチレイヤ― 2200 ± 200 700 クロミウム
    M.CRON 樹脂加工、 銅/アルミ合金のカッティング CrN/CrON マルチレイヤ― 2400 ± 200 700 レインボー
    M.ALTIN 標準カッティングアプリケーション(ミリング、穴あけ、リーミング、ソーイング) AlTiN モノ-/マルチ-/ナノレイヤー 3200 ± 300 900 アントラシート
    M.ZRN 非鉄金属のカッティング、装飾 ZrN モノレイヤー 2300 ± 300 700 ライトゴールド
    M.ALTISIN (ドライ)カッティング、ミリングスチール 45-60 HRC 、ステンレス鋼、チタン合金、穴あけ、歯切り加工 TiAlN/TiSiXN モノ-/マルチレイヤ― 3500 ± 300 1100 カッパー
    M.TISIN (ドライ)カッティング、ミリングスチール 60-70 HRC 、ステンレス鋼、チタン合金、穴あけ TiAlN/TiSiXN ナノレイヤー 3300 ± 300 1100 カッパー
    M.ALCRN カッティングスチール < 45 HRC、(排気)バルブ、部品 AlCrXN マルチレイヤ― 2500 ± 250 1100 ライトグレー
    M.CRALSIN カッティングスチール < 45 HRC、(排気)バルブ、部品 CrXAlSiN マルチレイヤ― 2500 ± 250 900 シルバーグレー
    M.VN アルミダイカスト、高温下のフォーミング VXN モノレイヤー 2400 ± 300 600 ライトブラス
    M.MON 精密部品、高温下での自動車用アプリケーション MoN モノレイヤー 2400 ± 250 800 シルバースチール
    M.TAC 非鉄金属のカッティング、木材ベースや強化繊維素材;フォーミング;自動車部品 ta-C モノレイヤー 4000 - 5000 500 アントラシート
  • スパッタリング/PACVD

    コーティング種類 推奨アプリケーション 標準コーティング組成 コーティング構造 硬さ(HV0.05) 最高使用温度 (°C)
    M.DLC 部品、自動車、フォーミング、樹脂加工 Cr/a-C:H(:Si) マルチレイヤ― 1500 - 2500 300 アントラシート
    M.WCH 精密部品 Cr/a-C:H:W マルチレイヤ― 800 - 1800 300 アントラシート
    M.CRN 精密部品、自動車向けアプリケーション CrN モノレイヤー 2000 ± 200 700 シルバーグレー
  • HiPIMS

    コーティング種類 推奨アプリケーション 標準コーティング組成 コーティング構造 硬さ(HV0.05) 最高使用温度 (°C)
    M.CRN 鋳造用金型、鏡面仕上げ用金型、樹脂加工金型 CrN モノレイヤー 2300 ± 200 700 シルバーグレー
    M.ALTIN 旋盤加工、鋳造用金型 AlTiN モノレイヤー 3200 ± 300 900 アントラシート
    M.TIN 鋳造用金型、ねじ切り加工 TiN モノレイヤー 2400 ± 250 600 ゴールド
    M.TISIN マイクロスタンピング、カッティング TiB2 モノレイヤー 4500 ± 300 900 カッパー
    M.TIB 切削加工ALSi 合金、非鉄金属、強化繊維材 TiB2 モノレイヤー 4500 ± 300 900 シルバーグレー
  • HI3

    コーティング種類 推奨アプリケーション 標準コーティング組成 コーティング構造 硬さ(HV0.05) 最高使用温度 (°C)
    M.ALTINV スタンピング、カッティング、メタルフォーミング、ダイカスト、ねじ切り加工 AlTiN/VXN マルチレイヤ― 2800 ± 250 600 ライトブラス
    M.ALTINSIB 耐酸化アプリケーション AlTiN/SiBNC マルチレイヤ― 2000 ± 250 1200 レッドグリーン
    M.TISINTIB カッティング TiAlN/TIB2 マルチレイヤ― 3800 ± 200 900 シルバー
    M.ALTINSI カッティング TiAlN/TiSiXN マルチレイヤ― 3200 ± 200 900 アントラシート

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