METAPLAS.DOMINO micra 고객 맞춤형 PVD 솔루션을 위한 광범위한 소형 코팅 솔루션

METAPLAS.DOMINO micra는 하나의 플랫폼에서 거의 모든 요구 조건을 충족시킬 수 있습니다.
고객의 요구에 따라 다양한 기술이 적용 가능하며, 특히 HiPIMS 시스템으로서 완벽한 플랫폼입니다.

• APA Arc, HiPIMS 스퍼터링 또는 HI3 기술
• 4개의 마그네트론과 및 동기화 된 양극 펄스 BIAS를 사용한 HiPIMS 스퍼터링
• PACVD 및 질화 공정과도 결합 가능
• 고객의 요구 사항에 따른 다양한 기술 개조 가능