Beim Spritzen in kontrollierter Atmosphäre werden sehr reine, sauerstofffreie Schichten erzeugt.
Aufgrund der hochreinen Eigenschaften kommt Vakuumplasmaspritzen (VPS) typischerweise an Turbinenkomponenten für den Einsatz am Boden und in Flugzeugen sowie an medizinischen Implantaten zum Einsatz. Zu den häufig verwendeten Ausgangswerkstoffen gehören Metalle, Keramiken und Metallkeramiken.